一(yi)、施(shi)工(gong)前(qian)置(zhi)無(wu)塵(chen)隔(ge)離(li)與(yu)環(huan)境(jing)管(guan)控(kong)

1. 分(fen)區(ou)施(shi)工(gong)隔(ge)離(li)
   無(wu)塵(chen)車(ju)間(jian)按(an)潔(jie)淨(jing)等(deng)級(ji)分(fen)區(ou)圍(wei)擋(dang)，施(shi)工(gong)區(ou)域(yu)與(yu)生(sheng)產(chan)區(ou)搭(da)建(jian)雙(shuang)層(ceng)防(fang)塵(chen)圍(wei)擋(dang)，配(pei)套(tao)獨(du)立(li)除(chu)塵(chen)風(feng)機(ji)；施(shi)工(gong)時(shi)段(duan)避(bi)開(kai)晶(jing)圓(yuan)生(sheng)產(chan)、鍍(du)膜(mo)、光(guang)刻(ke)工(gong)序(xu)，錯(cuo)峰(feng)夜(ye)間(jian) / 停(ting)產(chan)窗(chuang)口(kou)期(qi)作(zuo)業(ye)，杜(du)絕(jue)粉(fen)塵(chen)擴(kuo)散(san)汙(wu)染(ran)潔(jie)淨(jing)室(shi)。
2. 人(ren)員(yuan)、工(gong)具(ju)無(wu)塵(chen)管(guan)理(li)
   施(shi)工(gong)人(ren)員(yuan)穿(chuan)戴(dai)無(wu)塵(chen)服(fu)、無(wu)塵(chen)鞋(xie)、無(wu)塵(chen)手(shou)套(tao)，禁(jin)止(zhi)攜(xie)帶(dai)普(pu)通(tong)金(jin)屬(zhu)碎(sui)屑(xie)、棉(mian)紗(sha)、油(you)性(xing)工(gong)具(ju)進(jin)入(ru)車(ju)間(jian)；全(quan)部(bu)管(guan)件(jian)、閥(fa)件(jian)、輔(fu)材(cai)進(jin)場(chang)前(qian)在(zai)外(wai)部(bu)預(yu)清(qing)洗(xi)、真(zhen)空(kong)包(bao)裝(zhuang)，拆(chai)封(feng)僅(jin)在(zai)圍(wei)擋(dang)施(shi)工(gong)區(ou)內(nei)操(cao)作(zuo)。
3. 環(huan)境(jing)溫(wen)濕(shi)度(duo)管(guan)控(kong)
   施(shi)工(gong)環(huan)境(jing)溫(wen)度(duo) 18～26℃，濕(shi)度(duo) 40%～60%；車(ju)間(jian) FFU 持(chi)續(xu)開(kai)啟(qi)，維(wei)持(chi)正(zheng)壓(ya)，防(fang)止(zhi)外(wai)部(bu)粉(fen)塵(chen)反(fan)向(xiang)流(liu)入(ru)。
4. 成(cheng)品(pin)保(bao)護(hu)
   已(yi)安(an)裝(zhuang)光(guang)刻(ke)機(ji)、刻(ke)蝕(shi)機(ji)、薄(bao)膜(mo)沉(chen)積(ji)設(she)備(bei)、晶(jing)圓(yuan)載(zai)具(ju)全(quan)程(cheng)覆(fu)蓋(ge)無(wu)塵(chen) PE 保(bao)護(hu)膜(mo)，噴(pen)頭(tou)點(dian)位(wei)、設(she)備(bei)接(jie)口(kou)做(zuo)臨(lin)時(shi)封(feng)堵(du)防(fang)護(hu)。

二(er)、管(guan)材(cai)、管(guan)件(jian)進(jin)場(chang)檢(jian)驗(yan)與(yu)預(yu)處(chu)理(li)（無(wu)塵(chen)核(he)心(xin)工(gong)序(xu)）

1. 管(guan)材(cai)標(biao)準(zhun)
   統(tong)一(yi)選(xuan)用(yong)內(nei)壁(bi)鏡(jing)麵(mian)拋(pao)光(guang) 316L 不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)無(wu)縫(feng)管(guan)，禁(jin)止(zhi)鍍(du)鋅(xin)管(guan)、普(pu)通(tong)碳(tan)鋼(gang)管(guan)道(dao)；管(guan)道(dao)內(nei)壁(bi)粗(cu)糙(cao)度(duo)≤0.8μm，出(chu)廠(han)附(fu)帶(dai)酸(suan)洗(xi)鈍(dun)化(hua)無(wu)塵(chen)檢(jian)測(ce)報(bao)告(gao)。
2. 進(jin)場(chang)清(qing)洗(xi)流(liu)程(cheng)
   管(guan)道(dao)分(fen)段(duan)在(zai)車(ju)間(jian)外(wai)專(zhuan)用(yong)清(qing)洗(xi)區(ou)處(chu)理(li)：脫(tuo)脂(zhi)清(qing)洗(xi)→純(chun)水(shui)衝(chong)洗(xi)→高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)吹(chui)幹(gan)→兩(liang)端(duan)無(wu)塵(chen)堵(du)頭(tou)密(mi)封(feng)；嚴(yan)禁(jin)帶(dai)油(you)汙(wu)、金(jin)屬(zhu)碎(sui)屑(xie)管(guan)材(cai)直(zhi)接(jie)帶(dai)入(ru)無(wu)塵(chen)區(ou)。
3. 管(guan)件(jian)匹(pi)配(pei)
   彎(wan)頭(tou)、三(san)通(tong)、變(bian)徑(jing)全(quan)部(bu)采(cai)用(yong)衛(wei)生(sheng)級(ji)長(zhang)半(ban)徑(jing)管(guan)件(jian)，減(jian)少(shao)積(ji)塵(chen)死(si)角(jue)；密(mi)封(feng)墊(dian)片(pian)選(xuan)用(yong) PTFE 四(si)氟(fu)墊(dian)片(pian)，無(wu)析(xi)出(chu)、不(bu)掉(diao)屑(xie)。
4. 閥(fa)件(jian)預(yu)處(chu)理(li)
   容(rong)器(qi)閥(fa)、選(xuan)擇(ze)閥(fa)、過(guo)濾(lv)器(qi)拆(chai)解(xie)清(qing)洗(xi)，更(geng)換(huan)全(quan)新(xin)氟(fu)橡(xiang)膠(jiao)密(mi)封(feng)件(jian)，高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)吹(chui)掃(sao)內(nei)腔(qiang)，再(zai)密(mi)封(feng)包(bao)裝(zhuang)轉(zhuan)運(yun)現(xian)場(chang)。

三(san)、管(guan)道(dao)焊(han)接(jie)與(yu)無(wu)塵(chen)安(an)裝(zhuang)施(shi)工(gong)要(yao)點(dian)

1. 焊(han)接(jie)工(gong)藝(yi)
   全(quan)部(bu)采(cai)用(yong)全(quan)自(zi)動(dong)軌(gui)道(dao)式(shi)氬(ya)弧(hu)焊(han)，管(guan)內(nei)持(chi)續(xu)通(tong)入(ru)高(gao)純(chun)氬(ya)氣(qi)保(bao)護(hu)焊(han)道(dao)，杜(du)絕(jue)內(nei)壁(bi)氧(yang)化(hua)發(fa)黑(hei)產(chan)生(sheng)氧(yang)化(hua)皮(pi)；手(shou)工(gong)焊(han)僅(jin)允(yun)許(xu)輔(fu)助(zhu)小(xiao)部(bu)件(jian)，嚴(yan)控(kong)焊(han)渣(zha)生(sheng)成(cheng)。
2. 坡(po)度(duo)與(yu)排(pai)汙(wu)設(she)計(ji)
   管(guan)網(wang)全(quan)程(cheng)保(bao)持(chi) 3‰連(lian)續(xu)下(xia)坡(po)，低(di)點(dian)設(she)置(zhi)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)微(wei)型(xing)排(pai)汙(wu)閥(fa)；儲(chu)瓶(ping)間(jian)至(zhi)車(ju)間(jian)主(zhu)管(guan)坡(po)向(xiang)儲(chu)瓶(ping)間(jian)，管(guan)內(nei)冷(leng)凝(ning)水(shui)、微(wei)量(liang)雜(za)質(zhi)可(ke)統(tong)一(yi)排(pai)出(chu)，避(bi)免(wen)流(liu)入(ru)無(wu)塵(chen)車(ju)間(jian)噴(pen)頭(tou)。
3. 支(zhi)架(jia)安(an)裝(zhuang)
   支(zhi)架(jia)為(wei) 304 不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)材(cai)質(zhi)，管(guan)道(dao)與(yu)支(zhi)架(jia)間(jian)加(jia)裝(zhuang)四(si)氟(fu)軟(ruan)墊(dian)，防(fang)止(zhi)摩(mo)擦(ca)產(chan)生(sheng)金(jin)屬(zhu)粉(fen)塵(chen)；支(zhi)架(jia)焊(han)接(jie)點(dian)外(wai)部(bu)補(bu)塗(tu)鈍(dun)化(hua)防(fang)腐(fu)層(ceng)，焊(han)渣(zha)徹(che)底(di)清(qing)理(li)。
4. 穿(chuan)牆(qiang)、穿(chuan)潔(jie)淨(jing)區(ou)隔(ge)斷(duan)施(shi)工(gong)
   牆(qiang)體(ti)開(kai)孔(kong)加(jia)裝(zhuang)專(zhuan)用(yong)潔(jie)淨(jing)套(tao)管(guan)，管(guan)道(dao)與(yu)套(tao)管(guan)間(jian)隙(xi)填(tian)充(chong)無(wu)矽(gui)防(fang)火(huo)密(mi)封(feng)膠(jiao)，密(mi)封(feng)材(cai)料(liao)無(wu)揮(hui)發(fa)性(xing)有(you)機(ji)析(xi)出(chu)物(wu)；施(shi)工(gong)完(wan)成(cheng)擦(ca)拭(shi)牆(qiang)麵(mian)粉(fen)塵(chen)，恢(hui)複(fu)車(ju)間(jian)潔(jie)淨(jing)塗(tu)層(ceng)。

四(si)、噴(pen)頭(tou)安(an)裝(zhuang)專(zhuan)項(xiang)無(wu)塵(chen)要(yao)求(qiu)

1. 噴(pen)頭(tou)選(xuan)型(xing)
   半(ban)導(dao)體(ti)車(ju)間(jian)專(zhuan)用(yong)低(di)壓(ya)彌(mi)散(san)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)噴(pen)頭(tou)，無(wu)毛(mao)刺(ci)、無(wu)鑄(zhu)造(zao)積(ji)渣(zha)，氣(qi)流(liu)柔(rou)和(hu)不(bu)擾(rao)動(dong)層(ceng)流(liu)、不(bu)吹(chui)起(qi)車(ju)間(jian)微(wei)顆(ke)粒(li)。
2. 安(an)裝(zhuang)順(shun)序(xu)
   管(guan)道(dao)吹(chui)掃(sao)合(ge)格(ge)後(hou)再(zai)安(an)裝(zhuang)噴(pen)頭(tou)，未(wei)吹(chui)掃(sao)前(qian)噴(pen)頭(tou)用(yong)原(yuan)裝(zhuang)無(wu)塵(chen)堵(du)頭(tou)封(feng)閉(bi)；噴(pen)頭(tou)側(zhai)向(xiang)布(bu)置(zhi)，禁(jin)止(zhi)正(zheng)對(dui)晶(jing)圓(yuan)機(ji)台(tai)、層(ceng)流(liu)風(feng)口(kou)、光(guang)學(xue)檢(jian)測(ce)模(mu)組(zu)。
3. 防(fang)塵(chen)保(bao)護(hu)
   噴(pen)頭(tou)安(an)裝(zhuang)完(wan)成(cheng)後(hou)套(tao)一(yi)次(ci)性(xing)無(wu)塵(chen)保(bao)護(hu)膜(mo)，直(zhi)至(zhi)係(ji)統(tong)調(diao)試(shi)、竣(jun)工(gong)驗(yan)收(shou)前(qian)再(zai)拆(chai)除(chu)，施(shi)工(gong)粉(fen)塵(chen)、吊(diao)頂(ding)灰(hui)塵(chen)不(bu)會(kuai)堵(du)塞(se)噴(pen)孔(kong)。

五(wu)、儲(chu)瓶(ping)間(jian)設(she)備(bei)安(an)裝(zhuang)施(shi)工(gong)要(yao)點(dian)

1. 儲(chu)瓶(ping)間(jian)獨(du)立(li)設(she)置(zhi)，與(yu)無(wu)塵(chen)車(ju)間(jian)物(wu)理(li)隔(ge)斷(duan)，新(xin)風(feng)獨(du)立(li)過(guo)濾(lv)，防(fang)止(zhi)儲(chu)瓶(ping)檢(jian)修(xiu)粉(fen)塵(chen)進(jin)入(ru)生(sheng)產(chan)區(ou)；室(shi)溫(wen)控(kong)製(zhi) 0～50℃，遠(yuan)離(li)冷(leng)水(shui)機(ji)組(zu)、高(gao)溫(wen)工(gong)藝(yi)管(guan)道(dao)。
2. 20MPa 高(gao)壓(ya) IG100 鋼(gang)瓶(ping)就(jiu)位(wei)固(gu)定(ding)，熱(re)浸(jin)鍍(du)鋅(xin)支(zhi)架(jia) + 不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)鎖(suo)緊(jin)抱(bao)箍(gu)，瓶(ping)體(ti)標(biao)識(zhi)清(qing)晰(xi)；高(gao)壓(ya)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)波(bo)紋(wen)管(guan)兩(liang)端(duan)接(jie)頭(tou)螺(luo)紋(wen)塗(tu)抹(ma)無(wu)油(you)防(fang)腐(fu)潤(run)滑(hua)脂(zhi)。
3. 驅(qu)動(dong)管(guan)路(lu)采(cai)用(yong) 316 不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)毛(mao)細(xi)管(guan)，卡(qia)套(tao)接(jie)頭(tou)緊(jin)固(gu)後(hou)檢(jian)漏(lou)，杜(du)絕(jue)微(wei)漏(lou)；每(mei)分(fen)區(ou)選(xuan)擇(ze)閥(fa)單(shan)獨(du)編(bian)號(hao)，與(yu)車(ju)間(jian)防(fang)護(hu)區(ou)一(yi)一(yi)對(dui)應(ying)，分(fen)區(ou)管(guan)路(lu)清(qing)晰(xi)標(biao)識(zhi)。
4. 儲(chu)瓶(ping)間(jian)管(guan)路(lu)低(di)點(dian)集(ji)中(zhong)排(pai)汙(wu)，設(she)置(zhi)集(ji)水(shui)收(shou)集(ji)盒(he)，定(ding)期(qi)排(pai)放(fang)冷(leng)凝(ning)水(shui)汽(qi)，避(bi)免(wen)水(shui)汽(qi)隨(sui)氣(qi)體(ti)流(liu)入(ru)潔(jie)淨(jing)車(ju)間(jian)。

六(liu)、分(fen)段(duan)吹(chui)掃(sao)、氣(qi)密(mi)性(xing)無(wu)塵(chen)試(shi)驗(yan)（關(guan)鍵(jian)驗(yan)收(shou)節(jie)點(dian)）

1. 分(fen)級(ji)吹(chui)掃(sao)
   管(guan)道(dao)分(fen)段(duan)隔(ge)離(li)吹(chui)掃(sao)，采(cai)用(yong) 99.999% 高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)大(dai)流(liu)量(liang)衝(chong)洗(xi)，直(zhi)至(zhi)出(chu)口(kou)白(bai)濾(lv)紙(zhi)無(wu)黑(hei)色(shai)金(jin)屬(zhu)碎(sui)屑(xie)、油(you)汙(wu)顆(ke)粒(li)，分(fen)段(duan)記(ji)錄(lu)吹(chui)掃(sao)合(ge)格(ge)記(ji)錄(lu)。
2. 氣(qi)密(mi)性(xing)保(bao)壓(ya)測(ce)試(shi)
   吹(chui)掃(sao)完(wan)成(cheng)後(hou)整(zheng)體(ti)穩(wen)壓(ya)試(shi)驗(yan)，工(gong)作(zuo)壓(ya)力(li)保(bao)壓(ya) 24h，壓(ya)降(xiang)符(fu)合(ge)規(gui)範(fan)標(biao)準(zhun)；電(dian)子(zi)檢(jian)漏(lou)儀(yi)逐(zhu)點(dian)檢(jian)測(ce)焊(han)縫(feng)、接(jie)頭(tou)、閥(fa)件(jian)，無(wu)任(ren)何(he)微(wei)漏(lou)。
3. 吹(chui)掃(sao)廢(fei)液(ye)、廢(fei)渣(zha)全(quan)部(bu)在(zai)儲(chu)瓶(ping)間(jian)室(shi)外(wai)處(chu)理(li)，不(bu)帶(dai)入(ru)無(wu)塵(chen)生(sheng)產(chan)區(ou)域(yu)。

七(qi)、報(bao)警(jing)聯(lian)動(dong)係(ji)統(tong)無(wu)塵(chen)施(shi)工(gong)要(yao)點(dian)

1. 探(tan)測(ce)器(qi)選(xuan)用(yong)防(fang)爆(bao)、IP65 潔(jie)淨(jing)型(xing)煙(yan)溫(wen)複(fu)合(ge)探(tan)測(ce)器(qi)，布(bu)線(xian)穿(chuan)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)潔(jie)淨(jing)穿(chuan)線(xian)管(guan)，接(jie)線(xian)端(duan)子(zi)鍍(du)鎳(nie)防(fang)腐(fu)；線(xian)纜(lan)接(jie)口(kou)配(pei)防(fang)水(shui)無(wu)塵(chen)格(ge)蘭(lan)頭(tou)，密(mi)封(feng)膠(jiao)無(wu)矽(gui)析(xi)出(chu)。
2. 控(kong)製(zhi)器(qi)設(she)置(zhi)在(zai)車(ju)間(jian)外(wai)中(zhong)控(kong)室(shi)，信(xin)號(hao)對(dui)接(jie) Fab 廠(han) BMS、FFU 監(jian)控(kong)平(ping)台(tai)；每(mei)區(ou)緊(jin)急(ji)啟(qi)停(ting)按(an)鈕(niu)設(she)在(zai)潔(jie)淨(jing)區(ou)出(chu)入(ru)口(kou)，外(wai)殼(qiao)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)無(wu)塵(chen)款(kuan)。
3. 火(huo)警(jing)聯(lian)動(dong)邏(luo)輯(ji)：30s 人(ren)員(yuan)疏(shu)散(san)延(yan)時(shi)，自(zi)動(dong)關(guan)停(ting)對(dui)應(ying)區(ou)域(yu)工(gong)藝(yi)排(pai)風(feng)、廢(fei)氣(qi)處(chu)理(li)、機(ji)台(tai)真(zhen)空(kong)泵(beng)，避(bi)免(wen)氣(qi)流(liu)稀(xi)釋(shi)氮(dan)氣(qi)；滅(mie)火(huo)結(jie)束(shu)後(hou)可(ke)手(shou)動(dong)恢(hui)複(fu)潔(jie)淨(jing)通(tong)風(feng)係(ji)統(tong)。
4. 線(xian)路(lu)敷(fu)設(she)完(wan)成(cheng)後(hou)擦(ca)拭(shi)吊(diao)頂(ding)、立(li)柱(zhu)粉(fen)塵(chen)，恢(hui)複(fu)車(ju)間(jian)潔(jie)淨(jing)度(duo)標(biao)準(zhun)。

八(ba)、泄(xie)壓(ya)、密(mi)閉(bi)係(ji)統(tong)施(shi)工(gong)要(yao)點(dian)

1. 每(mei)個(ge)潔(jie)淨(jing)工(gong)藝(yi)間(jian)獨(du)立(li)設(she)置(zhi)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)重(chong)力(li)泄(xie)壓(ya)口(kou)，安(an)裝(zhuang)於(yu)房(fang)間(jian)上(shang)部(bu) 2/3 位(wei)置(zhi)，泄(xie)壓(ya)口(kou)外(wai)側(zhai)配(pei)防(fang)塵(chen)濾(lv)網(wang)，防(fang)止(zhi)吊(diao)頂(ding)粉(fen)塵(chen)進(jin)入(ru)車(ju)間(jian)。
2. 車(ju)間(jian)門(men)、工(gong)藝(yi)設(she)備(bei)管(guan)線(xian)穿(chuan)牆(qiang)縫(feng)隙(xi)全(quan)部(bu)用(yong)無(wu)矽(gui)耐(nai)候(hou)防(fang)火(huo)密(mi)封(feng)膠(jiao)封(feng)堵(du)，嚴(yan)控(kong)泄(xie)漏(lou)量(liang)，保(bao)障(zhang) 10min 以(yi)上(shang)惰(duo)化(hua)防(fang)複(fu)燃(ran)時(shi)間(jian)。
3. 潔(jie)淨(jing)區(ou)回(hui)風(feng)夾(jia)道(dao)、吊(diao)頂(ding)夾(jia)層(ceng)同(tong)步(bu)納(na)入(ru)防(fang)護(hu)密(mi)閉(bi)範(fan)圍(wei)，夾(jia)層(ceng)增(zeng)設(she)低(di)位(wei)噴(pen)頭(tou)，撲(pu)滅(mie)夾(jia)層(ceng)線(xian)纜(lan)陰(yin)燃(ran)。

九(jiu)、竣(jun)工(gong)調(diao)試(shi)與(yu)潔(jie)淨(jing)恢(hui)複(fu)

1. 係(ji)統(tong)模(mu)擬(ni)啟(qi)動(dong)試(shi)驗(yan)逐(zhu)區(ou)單(shan)獨(du)測(ce)試(shi)，禁(jin)止(zhi)多(duo)區(ou)同(tong)步(bu)噴(pen)放(fang)；模(mu)擬(ni)噴(pen)氣(qi)選(xuan)用(yong)高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)，不(bu)汙(wu)染(ran)車(ju)間(jian)環(huan)境(jing)。
2. 施(shi)工(gong)全(quan)部(bu)結(jie)束(shu)後(hou)，車(ju)間(jian)全(quan)麵(mian)擦(ca)拭(shi)、拖(tuo)地(de)、開(kai)啟(qi) FFU 循(xun)環(huan) 24h 以(yi)上(shang)，複(fu)測(ce)車(ju)間(jian)潔(jie)淨(jing)度(duo)達(da)標(biao)後(hou)移(yi)交(jiao)生(sheng)產(chan)。
3. 全(quan)套(tao)施(shi)工(gong)資(zi)料(liao)留(liu)存(cun)：管(guan)材(cai)酸(suan)洗(xi)鈍(dun)化(hua)報(bao)告(gao)、吹(chui)掃(sao)記(ji)錄(lu)、氣(qi)密(mi)試(shi)驗(yan)記(ji)錄(lu)、焊(han)接(jie)檢(jian)測(ce)報(bao)告(gao)、鋼(gang)瓶(ping)檢(jian)測(ce)資(zi)料(liao)，配(pei)合(ge)半(ban)導(dao)體(ti)廠(han)房(fang)專(zhuan)項(xiang)消(xiao)防(fang)與(yu)潔(jie)淨(jing)度(duo)驗(yan)收(shou)。

十(shi)、施(shi)工(gong)禁(jin)止(zhi)事(shi)項(xiang)

1. 禁(jin)止(zhi)普(pu)通(tong)棉(mian)紗(sha)、油(you)性(xing)清(qing)洗(xi)劑(ji)、矽(gui)基(ji)密(mi)封(feng)材(cai)料(liao)接(jie)觸(chu)管(guan)道(dao)與(yu)車(ju)間(jian)內(nei)壁(bi)，產(chan)生(sheng)矽(gui)汙(wu)染(ran)影(ying)響(xiang)晶(jing)圓(yuan)良(liang)率(shuai)；
2. 禁(jin)止(zhi)未(wei)吹(chui)掃(sao)管(guan)道(dao)提(ti)前(qian)安(an)裝(zhuang)噴(pen)頭(tou)，金(jin)屬(zhu)碎(sui)屑(xie)堵(du)塞(se)噴(pen)孔(kong)；
3. 禁(jin)止(zhi)碳(tan)鋼(gang)、普(pu)通(tong)鍍(du)鋅(xin)管(guan)件(jian)接(jie)入(ru)潔(jie)淨(jing)區(ou)主(zhu)管(guan)路(lu)，鏽(xiu)蝕(shi)掉(diao)渣(zha)汙(wu)染(ran)生(sheng)產(chan)環(huan)境(jing)；
4. 無(wu)塵(chen)區(ou)內(nei)禁(jin)止(zhi)打(da)磨(mo)、無(wu)保(bao)護(hu)焊(han)接(jie)，嚴(yan)控(kong)粉(fen)塵(chen)產(chan)生(sheng)；
5. 不(bu)同(tong)潔(jie)淨(jing)等(deng)級(ji)車(ju)間(jian)共(gong)用(yong)管(guan)路(lu)時(shi)，必(bi)須(xu)加(jia)裝(zhuang)分(fen)區(ou)隔(ge)斷(duan)閥(fa)，防(fang)止(zhi)交(jiao)叉(cha)汙(wu)染(ran)。