一(yi)、核(he)心(xin)結(jie)論(lun)

1. 國(guo)標(biao) GB50370 消(xiao)防(fang)規(gui)範(fan)沒(mo)有(you)強(jiang)製(zhi)要(yao)求(qiu)滅(mie)火(huo)管(guan)道(dao)內(nei)壁(bi)拋(pao)光(guang)，僅(jin)要(yao)求(qiu)內(nei)壁(bi)光(guang)滑(hua)無(wu)毛(mao)刺(ci)、減(jian)少(shao)積(ji)塵(chen)與(yu)流(liu)阻(zu)；
2. 芯(xin)片(pian)潔(jie)淨(jing)車(ju)間(jian)（ISO1～8 級(ji)）從(zong)潔(jie)淨(jing)生(sheng)產(chan)、晶(jing)圓(yuan)良(liang)率(shuai)管(guan)控(kong)角(jue)度(duo)，必(bi)須(xu)做(zuo)內(nei)壁(bi)拋(pao)光(guang)，屬(zhu)於(yu)行(hang)業(ye)強(jiang)製(zhi)工(gong)藝(yi)要(yao)求(qiu)，潔(jie)淨(jing)評(ping)審(shen)、潔(jie)淨(jing)室(shi)驗(yan)收(shou)必(bi)查(cha)；
3. 普(pu)通(tong)鍍(du)鋅(xin)碳(tan)鋼(gang)管(guan)完(wan)全(quan)禁(jin)用(yong)，統(tong)一(yi)采(cai)用(yong) 304/316L 不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)，按(an)潔(jie)淨(jing)等(deng)級(ji)匹(pi)配(pei)BA 光(guang)亮(liang)退(tui)火(huo)機(ji)械(xie)拋(pao)光(guang) / EP 電(dian)解(xie)拋(pao)光(guang)。

二(er)、為(wei)什(shi)麽(ma)芯(xin)片(pian)車(ju)間(jian)必(bi)須(xu)拋(pao)光(guang)（潔(jie)淨(jing)核(he)心(xin)痛(tong)點(dian)）

1. 噴(pen)放(fang)高(gao)速(su)氣(qi)流(liu)剝(bao)離(li)金(jin)屬(zhu)微(wei)顆(ke)粒(li)
   IG100、IG541、七(qi)氟(fu)丙(bing)烷(wan)噴(pen)放(fang)瞬(shun)時(shi)流(liu)速(su)極(ji)高(gao)，粗(cu)糙(cao)內(nei)壁(bi)會(kuai)衝(chong)刷(shua)下(xia)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)粉(fen)塵(chen)、鐵(tie)鏽(xiu)微(wei)粒(li)，隨(sui)氣(qi)流(liu)擴(kuo)散(san)至(zhi)光(guang)刻(ke)、蝕(shi)刻(ke)、鍍(du)膜(mo)區(ou)域(yu)，造(zao)成(cheng)晶(jing)圓(yuan)短(duan)路(lu)、圖(tu)形(xing)缺(que)陷(xian)、批(pi)量(liang)報(bao)廢(fei)，單(shan)批(pi)次(ci)損(sun)失(shi)可(ke)達(da)千(qian)萬(mo)級(ji)。
2. 管(guan)道(dao)內(nei)部(bu)積(ji)塵(chen)長(zhang)期(qi)二(er)次(ci)汙(wu)染(ran)潔(jie)淨(jing)區(ou)
   車(ju)間(jian)正(zheng)壓(ya)、FFU 層(ceng)流(liu)會(kuai)緩(huan)慢(man)滲(shen)入(ru)微(wei)量(liang)粉(fen)塵(chen)，粗(cu)糙(cao)內(nei)壁(bi)極(ji)易(yi)滯(zhi)留(liu)顆(ke)粒(li)物(wu)；日(ri)常(chang)巡(xun)檢(jian)、輕(qing)微(wei)震(zhen)動(dong)持(chi)續(xu)揚(yang)塵(chen)，常(chang)年(nian)破(po)壞(huai)潔(jie)淨(jing)度(duo)等(deng)級(ji)。
3. 焊(han)縫(feng)氧(yang)化(hua)層(ceng)脫(tuo)落(la)風(feng)險(xian)
   普(pu)通(tong)手(shou)工(gong)氬(ya)弧(hu)焊(han)內(nei)壁(bi)氧(yang)化(hua)發(fa)黑(hei)，無(wu)拋(pao)光(guang)鈍(dun)化(hua)後(hou)，氧(yang)化(hua)皮(pi)成(cheng)片(pian)脫(tuo)落(la)，屬(zhu)於(yu)潔(jie)淨(jing)工(gong)程(cheng)重(chong)大(dai)隱(yin)患(huan)。
4. 流(liu)阻(zu)與(yu)壓(ya)力(li)損(sun)失(shi)放(fang)大(dai)
   內(nei)壁(bi)粗(cu)糙(cao)度(duo)越(yue)高(gao)，沿(yan)程(cheng)阻(zu)力(li)越(yue)大(dai)，同(tong)等(deng)鋼(gang)瓶(ping)配(pei)置(zhi)下(xia)遠(yuan)端(duan)噴(pen)頭(tou)壓(ya)力(li)不(bu)足(ju)，滅(mie)火(huo)濃(nong)度(duo)不(bu)達(da)標(biao)。

三(san)、分(fen)潔(jie)淨(jing)等(deng)級(ji)拋(pao)光(guang)選(xuan)型(xing)標(biao)準(zhun)（芯(xin)片(pian)廠(han)通(tong)用(yong)分(fen)級(ji)）

1. 普(pu)通(tong)輔(fu)助(zhu)車(ju)間(jian)、動(dong)力(li)機(ji)房(fang)（ISO7～8 級(ji)，封(feng)裝(zhuang)、測(ce)試(shi)）

2. 核(he)心(xin)工(gong)藝(yi)區(ou)、晶(jing)圓(yuan)光(guang)刻(ke) / 蝕(shi)刻(ke) / 薄(bao)膜(mo)車(ju)間(jian)（ISO1～6 級(ji)，12 寸(cun)、3nm/7nm 先(xian)進(jin)製(zhi)程(cheng)）

四(si)、拋(pao)光(guang)配(pei)套(tao)強(jiang)製(zhi)施(shi)工(gong)工(gong)藝(yi)（缺(que)一(yi)不(bu)可(ke)，否(pi)則(ze)拋(pao)光(guang)失(shi)效(xiao)）

1. 全(quan)程(cheng)脫(tuo)脂(zhi)潔(jie)淨(jing)處(chu)理(li)
   拋(pao)光(guang)管(guan)道(dao)出(chu)廠(han)真(zhen)空(kong)密(mi)封(feng)封(feng)堵(du)，進(jin)場(chang)後(hou)分(fen)段(duan)異(yi)丙(bing)醇(chun) + 超(chao)純(chun)水(shui)清(qing)洗(xi)，高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)吹(chui)掃(sao)，白(bai)濾(lv)紙(zhi)擦(ca)拭(shi)無(wu)金(jin)屬(zhu)粉(fen)末(mo)、油(you)汙(wu)；預(yu)製(zhi)加(jia)工(gong)在(zai)萬(mo)級(ji)潔(jie)淨(jing)棚(peng)內(nei)完(wan)成(cheng)，禁(jin)止(zhi)露(lou)天(tian)切(qie)割(ge)打(da)磨(mo)。
2. 焊(han)接(jie)工(gong)藝(yi)匹(pi)配(pei)拋(pao)光(guang)內(nei)壁(bi)
   必(bi)須(xu)全(quan)自(zi)動(dong)軌(gui)道(dao)氬(ya)弧(hu)焊(han)，管(guan)內(nei)持(chi)續(xu)通(tong)高(gao)純(chun)氮(dan)保(bao)護(hu)，焊(han)縫(feng)內(nei)壁(bi)無(wu)氧(yang)化(hua)發(fa)黑(hei)；焊(han)後(hou)內(nei)窺(kui)鏡(jing) 100% 內(nei)窺(kui)檢(jian)查(cha)，局(ju)部(bu)焊(han)痕(hen)二(er)次(ci)打(da)磨(mo)拋(pao)光(guang)、鈍(dun)化(hua)。
3. 禁(jin)止(zhi)螺(luo)紋(wen)連(lian)接(jie)
   螺(luo)紋(wen)加(jia)工(gong)會(kuai)破(po)壞(huai)拋(pao)光(guang)內(nei)壁(bi)、產(chan)生(sheng)金(jin)屬(zhu)碎(sui)屑(xie)，潔(jie)淨(jing)區(ou)內(nei)管(guan)道(dao)全(quan)部(bu)對(dui)接(jie)自(zi)動(dong)焊(han)；閥(fa)門(men)、選(xuan)擇(ze)閥(fa)采(cai)用(yong)潔(jie)淨(jing)級(ji)卡(qia)套(tao) / VCR 金(jin)屬(zhu)密(mi)封(feng)，閥(fa)體(ti)內(nei)部(bu)同(tong)步(bu)拋(pao)光(guang)。
4. 安(an)裝(zhuang)後(hou)分(fen)段(duan)吹(chui)掃(sao)
   管(guan)網(wang)全(quan)部(bu)完(wan)工(gong)後(hou)，5N 高(gao)純(chun)氮(dan)氣(qi)大(dai)流(liu)量(liang)分(fen)段(duan)吹(chui)掃(sao)，直(zhi)至(zhi)出(chu)口(kou)無(wu)顆(ke)粒(li)物(wu)，留(liu)存(cun)吹(chui)掃(sao)檢(jian)測(ce)記(ji)錄(lu)作(zuo)為(wei)潔(jie)淨(jing)驗(yan)收(shou)資(zi)料(liao)。

五(wu)、不(bu)同(tong)滅(mie)火(huo)劑(ji)管(guan)道(dao)拋(pao)光(guang)有(you)無(wu)區(ou)別(bie)

1. IG100/IG541 惰(duo)性(xing)氣(qi)體(ti)（芯(xin)片(pian)廠(han)首(shou)選(xuan)）
   無(wu)化(hua)學(xue)分(fen)解(xie)、無(wu)酸(suan)性(xing)產(chan)物(wu)，拋(pao)光(guang)核(he)心(xin)作(zuo)用(yong)僅(jin)阻(zu)擋(dang)金(jin)屬(zhu)微(wei)粒(li)汙(wu)染(ran)晶(jing)圓(yuan)；EP 拋(pao)光(guang)適(kuo)配(pei)所(suo)有(you)高(gao)等(deng)級(ji)工(gong)藝(yi)區(ou)。
2. 七(qi)氟(fu)丙(bing)烷(wan)係(ji)統(tong)
   除(chu)防(fang)粉(fen)塵(chen)外(wai)，高(gao)溫(wen)分(fen)解(xie)微(wei)量(liang) HF 酸(suan)性(xing)介(jie)質(zhi)；拋(pao)光(guang)鈍(dun)化(hua)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)抗(kang)腐(fu)蝕(shi)更(geng)強(jiang)，避(bi)免(wen)內(nei)壁(bi)鏽(xiu)蝕(shi)產(chan)生(sheng)金(jin)屬(zhu)離(li)子(zi)二(er)次(ci)汙(wu)染(ran)。

六(liu)、容(rong)易(yi)踩(cai)坑(keng)的(di)誤(wu)區(ou)

1. 隻(zhi)拋(pao)光(guang)直(zhi)管(guan)、管(guan)件(jian)不(bu)拋(pao)光(guang)：彎(wan)頭(tou)、三(san)通(tong)渦(guo)流(liu)區(ou)最(zui)容(rong)易(yi)積(ji)塵(chen)脫(tuo)落(la)，管(guan)件(jian)必(bi)須(xu)同(tong)等(deng)級(ji)拋(pao)光(guang)；
2. 選(xuan)用(yong)普(pu)通(tong)碳(tan)鋼(gang)內(nei)外(wai)刷(shua)漆(qi)替(ti)代(dai)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)拋(pao)光(guang)：漆(qi)麵(mian)高(gao)速(su)氣(qi)流(liu)衝(chong)刷(shua)剝(bao)落(la)，粉(fen)塵(chen)汙(wu)染(ran)更(geng)嚴(yan)重(chong)，潔(jie)淨(jing)驗(yan)收(shou)直(zhi)接(jie)否(pi)決(jue)；
3. 僅(jin)外(wai)壁(bi)拋(pao)光(guang)、內(nei)壁(bi)不(bu)處(chu)理(li)：內(nei)壁(bi)粗(cu)糙(cao)問(wen)題(ti)完(wan)全(quan)沒(mo)有(you)解(xie)決(jue)，屬(zhu)於(yu)無(wu)效(xiao)處(chu)理(li)；
4. 現(xian)場(chang)手(shou)工(gong)打(da)磨(mo)拋(pao)光(guang)：現(xian)場(chang)粉(fen)塵(chen)、鐵(tie)屑(xie)殘(can)留(liu)，無(wu)法(fa)達(da)到(dao)原(yuan)廠(han)標(biao)準(zhun)化(hua)潔(jie)淨(jing)拋(pao)光(guang)效(xiao)果(guo)。

七(qi)、驗(yan)收(shou)核(he)查(cha)要(yao)點(dian)

1. 提(ti)供(gong)管(guan)材(cai)原(yuan)廠(han)粗(cu)糙(cao)度(duo)檢(jian)測(ce)報(bao)告(gao)（Ra 值(zhi)）、拋(pao)光(guang)鈍(dun)化(hua)合(ge)格(ge)證(zheng)；
2. 內(nei)窺(kui)鏡(jing)抽(chou)檢(jian)管(guan)道(dao)內(nei)壁(bi)，無(wu)劃(hua)痕(hen)、凹(wa)坑(keng)、氧(yang)化(hua)皮(pi)、焊(han)瘤(liu)；
3. 吹(chui)掃(sao)後(hou)顆(ke)粒(li)物(wu)檢(jian)測(ce)達(da)標(biao)，留(liu)存(cun)吹(chui)掃(sao)記(ji)錄(lu)；
4. 潔(jie)淨(jing)專(zhuan)項(xiang)評(ping)審(shen)文(wen)檔(dang)明(ming)確(que)標(biao)注(zhu)管(guan)材(cai)拋(pao)光(guang)等(deng)級(ji)，作(zuo)為(wei)潔(jie)淨(jing)車(ju)間(jian)竣(jun)工(gong)資(zi)料(liao)歸(gui)檔(dang)。

總(zong)結(jie)

1. 消(xiao)防(fang)國(guo)標(biao)不(bu)強(jiang)製(zhi)拋(pao)光(guang)，但(dan)芯(xin)片(pian)無(wu)塵(chen)車(ju)間(jian)從(zong)生(sheng)產(chan)良(liang)率(shuai)、潔(jie)淨(jing)規(gui)範(fan)角(jue)度(duo)，管(guan)道(dao)內(nei)壁(bi)必(bi)須(xu)拋(pao)光(guang)；
2. 封(feng)裝(zhuang)測(ce)試(shi)等(deng)低(di)潔(jie)淨(jing)輔(fu)助(zhu)區(ou)選(xuan)用(yong) 304 BA 機(ji)械(xie)拋(pao)光(guang)（Ra≤0.8μm）；光(guang)刻(ke)、薄(bao)膜(mo)核(he)心(xin)超(chao)高(gao)潔(jie)淨(jing)工(gong)藝(yi)區(ou)升(sheng)級(ji) 316L EP 電(dian)解(xie)拋(pao)光(guang)（Ra≤0.4μm 以(yi)內(nei)）；
3. 拋(pao)光(guang)必(bi)須(xu)搭(da)配(pei)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)管(guan)材(cai)、全(quan)自(zi)動(dong)潔(jie)淨(jing)焊(han)接(jie)、脫(tuo)脂(zhi)吹(chui)掃(sao)整(zheng)套(tao)工(gong)藝(yi)，僅(jin)做(zuo)表(biao)麵(mian)拋(pao)光(guang)無(wu)法(fa)滿(man)足(ju)芯(xin)片(pian)廠(han)長(zhang)期(qi)潔(jie)淨(jing)運(yun)行(hang)要(yao)求(qiu)。